MPI的TS2000-HP半自動化探針臺測試系統(tǒng)可提供8英寸及以下晶圓器件的高功率測量，先進的ShielDEnvironment?可提供低噪聲和屏蔽的測試環(huán)境。

產(chǎn)品信息：

安全系統(tǒng)

采用可互鎖的安全光幕，可通過互鎖系統(tǒng)關(guān)閉儀器，保護用戶免受意外高壓沖擊，該系統(tǒng)具有后門，并由互鎖保護，以提供簡便的初始安全測量設(shè)置。

ShielDEnvironment?

MPI ShielDEnvironment?是一個高性能的微暗室屏蔽系統(tǒng)，可為超低噪聲、低電容測量提供出色的EMI和不透光的屏蔽測試環(huán)境。為了防止卡盤和壓盤之間產(chǎn)生電弧，TS2000-HP卡盤專門設(shè)計了ArcShield?。

高壓探針(HVP)

低泄漏探頭專門設(shè)計，可承受高達10kV(同軸)和3kV(三軸)的高壓?？蛇x擇多種連接器選項，如Keysight Triax / UHV，Keithley Triax / UHV，SHV或Banana等。

大電流探針(HCP)

專為用于高達200A(脈沖)的大電流晶片測量而設(shè)計的高性能探針。MPI多指大電流探頭采用單片結(jié)構(gòu)，可有效處理大電流并提供低接觸電阻。

高功率測試系統(tǒng)

該測試系統(tǒng)提供了一個一體化的解決方案，用于表征2極和3極功率器件，如場效應(FET)、雙極結(jié)(BJTs)晶體管、二極管、電容器(高達3 kV和100 A)。只要插入一個DUT，就可以測量斷開狀態(tài)和接通狀態(tài)的所有相關(guān)參數(shù)以及特性電容(Ciss、Coss Crss)。IV特性可以在脈沖模式下進行，也可以在直流模式下進行。這樣可以提高效率并防止任何重新布線錯誤。

超快動態(tài)RDS(on)

超快速動態(tài)RDS(on)測試是被設(shè)計用來表征GaN晶體管的特性的。電力電子學的一個關(guān)鍵要求是在從高壓離態(tài)切換到低壓導通狀態(tài)后立即獲得非常低的導通電阻(RON)。超快動態(tài)RDS(on)測試能夠在關(guān)閉和打開狀態(tài)之間切換后立即測量RDS(on)。第一個RDS(on)值在大約1 us后生成。該系統(tǒng)是為高達100A(脈沖電流)或高達1kV電壓而設(shè)計的。由于探針的特殊設(shè)計，可以測量更多參數(shù)(泄漏或者其他)。

自動化晶圓裝載系統(tǒng)

自動化的單晶片裝載機和安全測試管理提供了獨特的功能，可以在任何溫度下裝載/卸載晶片。裝載或卸載晶片不再需要冷卻或加熱到環(huán)境溫度。這樣可以節(jié)省大量的停機時間，并顯著提高MPI測試系統(tǒng)的整體效率，同時，管理員方便的登錄過程有利于產(chǎn)品的設(shè)置和保護。

可選的防電弧液體托盤

專門設(shè)計的防電弧液體托盤，只需放在大功率卡盤表面，即可用于抑制電弧。晶圓可以安全地放置在托盤內(nèi)，浸沒在液體中進行無電弧高壓測試。

軟件套件SENTIO?

MPI自動工程探針系統(tǒng)由獨特且革命性的多點觸摸操作控制SENTIO?軟件套件，簡單直觀的操作節(jié)省了大量的培訓時間?！皾L動”，“縮放”，“移動”命令模仿了現(xiàn)代智能移動設(shè)備，使每個人都可以在短短幾分鐘內(nèi)成為專家。在活動應用程序與其余APP之間的切換僅需簡單的手指操作即可。對于RF應用系統(tǒng)，無需切換到另一個軟件平臺——MPI RF校準軟件程序QAlibria?與SENTIO?完全集成在一起，遵循單一操作概念方法，易于使用。