自動(dòng)探針臺(tái)新品升級(jí)：TS2000-IFE 系列：

TS2000-IFE 是一個(gè)多功能自動(dòng)化探針臺(tái)，可以從使用一開始或在測(cè)試領(lǐng)域內(nèi)任何需要時(shí)轉(zhuǎn)換為帶有 Waferwallet MAX 的可用于實(shí)驗(yàn)室研發(fā)專用全自動(dòng)探針臺(tái)。主要應(yīng)用在負(fù)載拉動(dòng)、RF、mmW、硅光子學(xué)、設(shè)計(jì)驗(yàn)證（產(chǎn)品工程）或在定義的測(cè)試環(huán)境中測(cè)試 MEMS 和其他傳感器。

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

我們推出用于太赫茲應(yīng)用的 200 毫米自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)。

我們提供其200 mm TS2000-IFE THZ-Selection 自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)。THZ-Selection 是一種專用的射頻、毫米波、太赫茲和負(fù)載牽引探針臺(tái)，在 -60 至 300 oC 的寬工作溫度范圍內(nèi)不會(huì)影響測(cè)量方向性。它基于最通用的 200 毫米平臺(tái) - TS2000-IFE 系列。

200 毫米晶圓的自動(dòng)化在片測(cè)試探針臺(tái)系統(tǒng)常用來執(zhí)行以下操作：

無需額外的 S 波段波導(dǎo)，尤其是在亞太赫茲或太赫茲范圍內(nèi)。
最小化負(fù)載牽引應(yīng)用的信號(hào)路徑并提供最寬的調(diào)諧范圍和最高GAMMA。
切換頻段時(shí)操作簡(jiǎn)單方便。

專有的 IceFreeEnvironment 技術(shù)允許 THZ-Selection 在微定位器和探針卡的幫助下在負(fù)溫度下運(yùn)行。該測(cè)試系統(tǒng)能夠通過具有可編程微觀運(yùn)動(dòng)的集成探針控制提供晶圓級(jí)可靠性。主動(dòng)隔振緩沖了測(cè)試過程中振動(dòng)誤差的發(fā)生。這些功能支持自動(dòng)化測(cè)試，沒有任何錯(cuò)誤余地，并且具有可驗(yàn)證的準(zhǔn)確性。

通過以下方式自動(dòng)測(cè)試 200 毫米晶圓：

無需額外的 S 波段波導(dǎo)，尤其是在亞太赫茲或太赫茲范圍內(nèi)，大限度地減少負(fù)載牽引應(yīng)用的信號(hào)路徑，并提供較寬的調(diào)諧范圍和較高的 Gamma，頻段切換時(shí)操作簡(jiǎn)單方便，THZ-Selection 采用頻率擴(kuò)展器集成創(chuàng)新設(shè)計(jì)，最初是為TS200-THZ開發(fā)的，它將擴(kuò)展器懸停在整個(gè) 200 毫米晶圓上。

技術(shù)優(yōu)勢(shì)：

1、可自動(dòng)測(cè)試 200 毫米晶圓

2、頻段切換時(shí)操作簡(jiǎn)單方便

3、測(cè)量精度和準(zhǔn)確度大大提高

應(yīng)用方向：

測(cè)試200毫米晶圓。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

專為各種在線應(yīng)用而設(shè)計(jì)

? 直流-IV/直流-CV/脈沖-IV應(yīng)用

? 硅光子學(xué)

? 射頻，毫米W，負(fù)載拉應(yīng)用和4端口設(shè)置

? 集成電路設(shè)計(jì)驗(yàn)證，在-60~300°C寬溫度范圍內(nèi)的失效分析

? 晶圓級(jí)可靠性擴(kuò)展靈活性

擴(kuò)展的靈活性

? 無冰環(huán)境?用于同時(shí)使用微型定位器和探針卡，即使在負(fù)溫度

? 可編程顯微鏡運(yùn)動(dòng)，以更自動(dòng)化和易于使用

? 到IC測(cè)試儀的最短電纜接口

? 最大限度地減少毫米W和探測(cè)與主動(dòng)探針的板到吸盤的距離

? 支持膠片幀探測(cè)

人體工程學(xué)設(shè)計(jì)和足跡

? 簡(jiǎn)單的晶片或單個(gè)DUT從前面加載

? 集成主動(dòng)隔振

? 完全集成Prober控制，用于更快、更安全、更方便的系統(tǒng)和測(cè)試操作

? 具有自動(dòng)露點(diǎn)控制的安全測(cè)試管理(STM?

? 減少足跡，因?yàn)橹悄芾渌畽C(jī)組的空間安排

儀表架選擇較短的電纜和更高的測(cè)量動(dòng)態(tài)