滿足您在 CIS/ALS/ 光傳感器晶圓級測試的所有需求
SG-O 是一款 CIS/ALS/ 光傳感器晶圓測試儀，結(jié)合了高均勻度光源和半自動晶圓探針臺。高均勻度光源可提供 400nm 至 1700nm 的連續(xù)白光光譜，并在多個不同波長下輸出具有一定半高寬 (FWHM) 的單色光。
產(chǎn)品簡介：
探針臺可處理最大 200 毫米的晶圓尺寸和尺寸大于 1 厘米 x1 厘米的單顆晶粒。SG-O 整合了超低噪聲熱夾盤，可提供 - 60°C 至 180°C 的溫度范圍，并具有快速的升溫速度和穩(wěn)定性。SG-O 滿足您在 CIS/ALS/ 光傳感器設計驗證或制程良率檢查中的所有需求。
產(chǎn)品特點：
高均勻度光源
寬廣的光譜范圍，涵蓋紫外光至短波紅外光。
高度均勻性，在 50 毫米 x50 毫米區(qū)域內(nèi)均勻度優(yōu)于 98%。
超穩(wěn)定的光強度，10 < 小時內(nèi)不穩(wěn)定為 0.2%
高光強度動態(tài)范圍，最高可達 140dB。
可編程自動探針臺
可處理 200 毫米至 10 毫米晶圓或晶粒
適用于最準確可靠的直流 / 電容 - 電壓、射頻量測
穩(wěn)定且功能齊全的顯微鏡系統(tǒng)
整合式硬件控制面板
自動晶圓載入器
教學式智慧晶圓圖譜
寬溫且低噪聲夾盤
模塊化夾盤
寬廣的溫度范圍，從 - 80°C 到 180°C
先進的 CDA 溫度控制技術(shù)
具備高升溫速率和高溫穩(wěn)定性
超低噪聲，適用于精確的 CIS/ALS/ 光傳感器晶圓測試
產(chǎn)品規(guī)格：
SG-O 提供 CIS/ALS/ 光傳感器晶圓測試所需的所有完整規(guī)格。以下是主要元件及其詳細信息。如果您需要更多詳細信息，請隨時與我們聯(lián)系！
高均勻度光源
光譜范圍：400nm 至 1700nm
色彩對比溫度：3000K 至 5200K
均勻照明面積：42mm x 25mm（200mm 工作距離處）>
照明均勻度：優(yōu)于 98%
短期光源不穩(wěn)定度：1 小時內(nèi) ≤ 1%
長期光源不穩(wěn)定度：10 小時內(nèi) ≤ 1%
待測元件與最后光學元件之間的工作距離：≥ 200 毫米工作距離
單色光產(chǎn)生：
中心波長，半峰寬為 10nm： 420nm、450nm、490nm、510nm、550nm、570nm、620nm、670nm、680nm、710nm、780nm、870nm
中心波長，半峰寬為 25nm： 1010nm、1250nm、1450nm
中心波長，半峰寬為 45±5nm： 815nm
中心波長，半峰寬為 50nm： 1600nm
中心波長，半峰寬為 60±5nm： 650nm
中心波長，半峰寬為 70±5nm： 485nm, 555nm
中心波長，半峰寬為 100±5nm： 1600nm
帶外透光率 ≤ 0.01%
帶通區(qū)峰值傳輸 ≥ 80%
中心波長容差：(a) ≤ ±2nm；(b)~(g) ≤ ±5nm
FWHM 容差：(a) ≤ ±2nm；(b)~(g) ≤ ±5nm
可變衰減器：電腦控制，3 位數(shù)解析度，至少 1000 步進
晶圓尺寸能力：200mm、150mm、100mm 晶圓和尺寸大于 1cm x 1cm 的單芯片
晶圓處理：單晶圓，手動進料型
半自動化：一步手動對準教和自動模步進
XYZ 三軸平臺
卡盤 XY 載物臺行程：210mm x 300mm
卡盤 XY 平臺分辨率：優(yōu)于 0.5um
夾頭 XY 平臺精度：優(yōu)于 2.0um
卡盤 XY 平臺速度：最慢：10 微米 / 秒，最快：50 毫米 / 秒
Chuck Z 載物臺行程：50mm
Chuck Z 平臺分辨率：0.2um
夾盤 Z 軸平臺精度：±2.0um
Theta 平臺
Theta 載物臺行程：± 5 度運動范圍
Theta 分辨率：優(yōu)于 0.01 度
Theta 精度：0.1 度
卡盤
卡盤平整度 ≤ 10um
卡盤熱操作：-60°C 至 200°C
25°C 時的卡盤泄漏： 25°C 時在 10V 偏壓下每個電壓 ≤ 20fA
卡盤剩余電容 ≤ 95fF
探針卡
探針卡尺寸：4.5 英寸至 8 英寸長
探針卡座與壓板之間的間隙：≥ 7.5mm
微型腔室
EMI 屏蔽：在 1kHz 至 1 MHz 范圍內(nèi) ≥ 30dB
系統(tǒng)交流噪聲：≤ 5 mVp -p
微型定位器
顯微鏡
隔振臺
光譜范圍：400nm 至 1600nm
波長解析度：400nm 至 1000nm 增加步 < 長 1nm;1000nm 至 1600nm 增加步長 < 3.5nm
校準：NIST 可追溯校準證書
更多規(guī)格
SG-O 集成了ENLITECH的先進光模擬器技術(shù)和 自動探針系統(tǒng)。 提供多種光學選項，以滿足使用者對 CIS/ALS/ 光傳感器晶圓測試的要求，包括波長范圍、光強度和均勻的光束尺寸。 可幫助客戶解決 CIS/ALS/ 光傳感器晶圓測試和設計變化的挑戰(zhàn)。
系統(tǒng)設計
SG-O-CIS-wafer-level-tester-02_System-structure
SG-O CIS/ALS/ 光傳感器測試儀（晶圓級）系統(tǒng)圖。高均勻度光源由 PC-1 控制。光輸出透過光纖導引至光學均勻器，以產(chǎn)生均勻的光束。顯微鏡和均勻器由 PC-1 控制的自動位移平臺控制，以切換位置和功能。探針臺系統(tǒng)為 MPI TS2000，由 PC-2 控制。夾盤平臺的位置也由 PC-2 控制。熱夾盤溫度可在 - 55℃至 180℃之間控制，涵蓋了大多數(shù) IC 測試的溫度范圍。光強度由一個硅光電二極管和一個 InGaAs 光電二極管透過皮安培電流計測量和校準。
應用：
CIS/ALS/ 光傳感器晶圓測試； | CIS/ALS/ 光傳感器晶圓圖譜和良率檢查 | ToF 傳感器測試 | 激光雷達傳感器測試 | InGaAs 光電二極管測試 |
SPAD 傳感器測試 | 光傳感器類比參數(shù)測試： | 光傳感器類比參數(shù)測試： | 量子效率 | 光譜響應 |
系統(tǒng)增益 | 靈敏度 | 動態(tài)范圍 | 暗電流 / 噪聲 | 信噪比 |
飽和容量 | 線性誤差（LE） | DCNU（暗電流非均勻性） | PRNU（光響應非均勻性） |
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SG-O 系統(tǒng)的操作軟件。對于高均勻度光源控制軟件，SG-O 提供光源系統(tǒng)控制和光強度測量功能。提供 Labview 功能面板、個別光學元件的驅(qū)動程式 / DLL 檔案。軟件控制位移平臺，以便分段照射大面積元件。整合鏈接包括發(fā)送 / 接收指令，例如開始晶粒步進、晶粒對準 / 探測，這些功能都已整合并提供。
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來自 SG-O 顯微鏡系統(tǒng)的 CIS / ALS / 光傳感器晶片圖像 |
CIS / ALS / 光傳感器晶圓的探針卡安裝圖 | 
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SG-O-CIS-wafer-level-tester-24_-wafer-and-probe-card-contact-image
