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半導體場發(fā)射掃描電鏡
探針臺|全自動探針臺|硅光晶圓測試系統(tǒng)|半自動探針臺|手動探針臺|國產(chǎn)探針臺|Hanwa ESD/ TLP測試儀|CDM測試機|晶圓級ESD測試儀|芯片HCI/BTI/TDDB/DCEM可靠性測試設備、滿足實驗室研發(fā)和晶圓廠量產(chǎn)的多種需求。廣泛應用于：WAT/CP測試、I-V／C-V測試、RF/mmW測試、高壓/大電流測試、在片wlr、在片老化burning、高低溫測試、光電器件測試（硅光、CMOS，SPAD傳感器等）、晶圓級失效分析、芯片ESD測試、半導體工藝可靠性驗證、封裝測試等領域
GeminiSEM：全系列介紹
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GeminiSEM 360，Gemini 1 型電子 光學系統(tǒng) 構(gòu)成測試平臺的核心 跨越應用和樣品類型 Gemini 1 型鏡筒和單聚光鏡 在低電壓條件下提供高分辨率 | GeminiSEM 460，Gemini 2 型電子 光學系統(tǒng)是完成高通量成像與分析任務的理想 之選專注于您富有挑戰(zhàn)性的分析工作流程 Gemini 2 型鏡筒和雙聚光鏡 在進行加熱和拉伸實驗時，可通過使用原 位解決方案來拓展功能 | GeminiSEM 560，Gemini 3 型電子 光學系統(tǒng) 終極亞納米表面靈敏度的表征工具 在任何工作條件下都能提供超高分辨率 Gemini 3 型鏡筒，帶 Nano-twin 物鏡和智 能自動光路調(diào)節(jié) 為獨特的襯度成像提供優(yōu)勢 |
GeminiSEM 360 在擁有的應用數(shù)量和樣品類型的多樣性方面表現(xiàn)突出。
Gemini 1 型鏡筒采用了先進的高分辨率成像和分析技術。作為一款幾乎具備所有功能的工具，GeminiSEM 360 將成為您學術研究、公立機構(gòu)或工業(yè)實驗室測 試平臺的重要成員。
要完成分析顯微鏡中充滿挑戰(zhàn)性的任務，GeminiSEM 460 是您的明智之選。 利用其 Gemini 2 型鏡筒，您的這個分析平臺能夠應對您要進行的所有分析研 究任務。GeminiSEM 460 可滿足您所需的效率和性能要求，束流大范圍連續(xù)可 調(diào)，實現(xiàn)分析和成像操作之間的無縫切換。
GeminiSEM 560 引進了 Gemini 3 型鏡筒，創(chuàng)下了表面成像技術新高度。 Smart Autopilot 這一新型智能自動光路調(diào)節(jié)引擎是為方便您使用高分辨率成像 技術而特別定制的，即使要對敏感樣品進行超高分辨率的成像也是輕而易舉。 GeminiSEM 560 在任何工作條件下都能達到該系列的最高分辨率，突破了常規(guī) 浸沒式表面成像技術的上限。
利用兩個平行的獨特 Inlens 探測器進行樣品綜合表征 |
有了多功能樣品室，您可以根據(jù)自己的個性需求來配置儀器。 |
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