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ZEISS 光學(xué)微光顯微鏡
探針臺(tái)|全自動(dòng)探針臺(tái)|硅光晶圓測(cè)試系統(tǒng)|半自動(dòng)探針臺(tái)|手動(dòng)探針臺(tái)|國(guó)產(chǎn)探針臺(tái)|Hanwa ESD/ TLP測(cè)試儀|CDM測(cè)試機(jī)|晶圓級(jí)ESD測(cè)試儀|芯片HCI/BTI/TDDB/DCEM可靠性測(cè)試設(shè)備、滿足實(shí)驗(yàn)室研發(fā)和晶圓廠量產(chǎn)的多種需求。廣泛應(yīng)用于：WAT/CP測(cè)試、I-V／C-V測(cè)試、RF/mmW測(cè)試、高壓/大電流測(cè)試、在片wlr、在片老化burning、高低溫測(cè)試、光電器件測(cè)試（硅光、CMOS，SPAD傳感器等）、晶圓級(jí)失效分析、芯片ESD測(cè)試、半導(dǎo)體工藝可靠性驗(yàn)證、封裝測(cè)試等領(lǐng)域
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產(chǎn)品特點(diǎn)：具有優(yōu)化的操作理念。
擁有更高襯度和更高分辨率的新型光學(xué)系統(tǒng)。
基于“向前看”理念的升級(jí)設(shè)計(jì)。
保證穩(wěn)定性和免震動(dòng)工作的創(chuàng)新設(shè)計(jì)。
可選配使操作更加舒適的自動(dòng)功能。
接觸的人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)使操作使用變得簡(jiǎn)單無(wú)比
實(shí)現(xiàn)高品質(zhì)和可在線數(shù)字圖像的集成系統(tǒng)
系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)：
光學(xué)系統(tǒng) | ICCS光學(xué)系統(tǒng) 鏡體：FEM設(shè)計(jì) ACR位置編碼 |
ICCS物鏡 | 5X 10X 20X 50X 100X 可選1.25X、2.5X、150X |
目鏡 | 10X/23 |
物鏡轉(zhuǎn)盤 | 研究級(jí)7孔或6孔明暗場(chǎng)萬(wàn)能物鏡轉(zhuǎn)盤 |
觀察功能轉(zhuǎn)盤 | 6－10位有預(yù)留位置便于日后升級(jí) |
觀察功能 | 反射光: 明場(chǎng)、ADF高級(jí)暗場(chǎng)、圓偏光、微分干涉、 熒光 透射光: 明場(chǎng)、ADF高級(jí)暗場(chǎng)、圓偏光、相襯 |
光源 | 12V、100W鹵素?zé)?智能化光路管理器,光強(qiáng)自動(dòng)可 調(diào) |
光學(xué)附件 | 目鏡測(cè)微尺，臺(tái)尺，各種濾色片 |
數(shù)字化平臺(tái) | 可配圖像分析系統(tǒng)(數(shù)碼相機(jī)、攝像頭、圖像分析 軟件) |
其它 | 可配加熱臺(tái)（用于高溫金相分析） ，可配自動(dòng)掃 描臺(tái) |
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