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高校|研究所實(shí)驗(yàn)室專用設(shè)備

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硅光探針臺(tái)| 硅光子全自動(dòng)探針臺(tái)TS3000-SiPH

硅光測(cè)試探針臺(tái)| 300mm 12英寸自動(dòng)硅光子測(cè)試全自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)，硅光測(cè)試半自動(dòng)探針臺(tái)

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默認(rèn)標(biāo)題_橫版海報(bào)_2020-09-14-0 (1).png

TS3000-SiPH 功能集提供：

高精度光纖對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，在雙定位器或單定位器設(shè)置中為單個(gè)或光纖陣列提供最大的靈活性
通過(guò)將晶圓包括在光纖接近檢測(cè)和光纖防撞中，實(shí)現(xiàn)最安全的操作
推薦的器件測(cè)試溫度為-40 ... 100°C; 系統(tǒng)性能-60 ... 300°C
通過(guò)在專用測(cè)量架中集成額外的硅光子儀器，最大限度地減少系統(tǒng)占用空間

專用于硅光子晶圓在片測(cè)試：

包括各種高精度光纖選項(xiàng)用于超快速掃描程序的對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
O-O，O-E，E-O和E-E設(shè)備配置的多種測(cè)量功能
集成Z感應(yīng)，用于檢測(cè)光纖到晶圓接觸點(diǎn)
使用兩個(gè)光纖臂時(shí)的防撞保護(hù)
建議溫度范圍為-40至100°C，系統(tǒng)支持-60°C至300°C的全范圍

靈活的可擴(kuò)展性：

MPI IceFreeEnvironment?，即使在負(fù)溫度下，也可同時(shí)使用MicroPositi和探針卡
可編程顯微鏡移動(dòng)更自動(dòng)化和容易使用。
IC測(cè)試儀的最短電纜接口
最小化mmW的壓板到卡盤距離
并使用有源探頭進(jìn)行探測(cè)，
支持電幀探測(cè)

人體工程學(xué)設(shè)計(jì)：

從正面輕松裝載晶圓或單個(gè)DUT
集成主動(dòng)隔振
完全集成的探針控制，更快，更安全方便的系統(tǒng)和測(cè)試操作
安全測(cè)試管理（STM?），具有自動(dòng)露點(diǎn)控制功能
由于智能冷卻器空間布置，減少了占地面積
儀器架選項(xiàng)，適用于較短的電纜和更高的測(cè)量動(dòng)態(tài)

人體工程學(xué)設(shè)計(jì)：

從正面輕松裝載晶圓或單個(gè)DUT
集成主動(dòng)隔振
完全集成的探針控制，更快，更安全方便的系統(tǒng)和測(cè)試操作
安全測(cè)試管理（STM?），具有自動(dòng)露點(diǎn)控制功能
由于智能冷卻器空間布置，減少了占地面積
儀器架選項(xiàng)，適用于較短的電纜和更高的測(cè)量動(dòng)態(tài)

硅光子光纖對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) TS3000-SiPH探頭系統(tǒng)可輕松使用各種光纖定位平臺(tái)和相關(guān)軟件。最短的壓板距離允許較短的光纖臂具有更高的穩(wěn)定性和更低的測(cè)量噪音?？商峁﹩卫w維或多纖維陣列的解決方案，所有這些解決方案均集成了自動(dòng)Z感應(yīng)單元，可與光學(xué)I / O保持幾微米的恒定距離。
Probe Hover Control? MPI探頭懸?？刂芇HC?可以輕松手動(dòng)控制探頭接觸和分離到晶圓。分離距離可以用微米反饋精確控制探針到晶圓/焊盤定位。易于使用通過(guò)在關(guān)鍵設(shè)置和探頭更換操作期間最小化錯(cuò)誤來(lái)保證最安全的操作。
易于晶圓裝載雙前門通道和獨(dú)特的卡盤設(shè)計(jì)可輕松裝載/卸載150,200,300 mm晶圓，晶圓碎片或甚至小至5×5 mm IC。 AUX卡盤位于前面，可以非常方便地裝載/卸載。沒(méi)有推出階段允許用于RF校準(zhǔn)和探針卡清潔的簡(jiǎn)單自動(dòng)化方法。
集成硬件控制面板智能硬件控制面板完全集成到探頭系統(tǒng)中，基于數(shù)十年的經(jīng)驗(yàn)和客戶交互設(shè)計(jì)，提供更快，更安全，更方便的系統(tǒng)控制和測(cè)試操作。鍵盤和鼠標(biāo)的戰(zhàn)略位置，如果需要控制軟件，也將控制Windows ?基于儀器。
熱卡盤集成由于智能冷卻器集成，TS3000系列提供優(yōu)化的占地面積，以節(jié)省實(shí)驗(yàn)室的寶貴空間。 MPI和ERS共同設(shè)計(jì)了新的300 mm熱卡盤PRIME?技術(shù)系列，提供無(wú)與倫比的熱靈活性和市場(chǎng)上最多種類的熱量范圍。該系統(tǒng)可配置為-60°C，-40°C，-10°C，20°C或30°C的較低溫度起點(diǎn)，以及200°C或300°C的較高端點(diǎn) - 所有這些為了根據(jù)不同的要求和預(yù)算定制熱能力。PRIME?技術(shù)可以在沒(méi)有冷卻器的情況下在-10°C下進(jìn)行測(cè)試，或者在-40°C下使用非常小的冷卻器進(jìn)行測(cè)試，從而使系統(tǒng)極具成本效益，從而降低測(cè)試的總體成本。減少轉(zhuǎn)換時(shí)間，改善電氣性能，在惰性氣體環(huán)境下更容易測(cè)試，以及現(xiàn)場(chǎng)可升級(jí)性是PRIME?熱卡盤系統(tǒng)的附加值。熱系統(tǒng)可以使用完全集成的觸摸屏顯示器操作，放置在操作員面前的方便位置，以便快速操作和立即反饋。
ERS獲得專利的AC3冷卻技術(shù)公司這些卡盤采用獲得專利的AC3冷卻技術(shù)和自我管理系統(tǒng)，使用循環(huán)冷卻空氣清洗MPI ShielDEnvironment?，與市場(chǎng)上的其他系統(tǒng)相比，可大幅減少30％至50％的空氣消耗。
綜合測(cè)量?jī)x器硅光子儀器架包含定位控制硬件的所有必需組件，無(wú)縫集成，無(wú)需增加額外的占地面積。它位于用戶友好的距離，便于設(shè)置操作。

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硅光子光纖對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) TS3000-SiPH探頭系統(tǒng)可輕松使用各種光纖定位平臺(tái)和相關(guān)軟件。最短的壓板距離允許較短的光纖臂具有更高的穩(wěn)定性和更低的測(cè)量噪音?？商峁﹩卫w維或多纖維陣列的解決方案，所有這些解決方案均集成了自動(dòng)Z感應(yīng)單元，可與光學(xué)I / O保持幾微米的恒定距離。
Probe Hover Control? MPI探頭懸?？刂芇HC?可以輕松手動(dòng)控制探頭接觸和分離到晶圓。分離距離可以用微米反饋精確控制探針到晶圓/焊盤定位。易于使用通過(guò)在關(guān)鍵設(shè)置和探頭更換操作期間最小化錯(cuò)誤來(lái)保證最安全的操作。
易于晶圓裝載雙前門通道和獨(dú)特的卡盤設(shè)計(jì)可輕松裝載/卸載150,200,300 mm晶圓，晶圓碎片或甚至小至5×5 mm IC。 AUX卡盤位于前面，可以非常方便地裝載/卸載。沒(méi)有推出階段允許用于RF校準(zhǔn)和探針卡清潔的簡(jiǎn)單自動(dòng)化方法。
集成硬件控制面板智能硬件控制面板完全集成到探頭系統(tǒng)中，基于數(shù)十年的經(jīng)驗(yàn)和客戶交互設(shè)計(jì)，提供更快，更安全，更方便的系統(tǒng)控制和測(cè)試操作。鍵盤和鼠標(biāo)的戰(zhàn)略位置，如果需要控制軟件，也將控制Windows ?基于儀器。
熱卡盤集成由于智能冷卻器集成，TS3000系列提供優(yōu)化的占地面積，以節(jié)省實(shí)驗(yàn)室的寶貴空間。 MPI和ERS共同設(shè)計(jì)了新的300 mm熱卡盤PRIME?技術(shù)系列，提供無(wú)與倫比的熱靈活性和市場(chǎng)上最多種類的熱量范圍。該系統(tǒng)可配置為-60°C，-40°C，-10°C，20°C或30°C的較低溫度起點(diǎn)，以及200°C或300°C的較高端點(diǎn) - 所有這些為了根據(jù)不同的要求和預(yù)算定制熱能力。PRIME?技術(shù)可以在沒(méi)有冷卻器的情況下在-10°C下進(jìn)行測(cè)試，或者在-40°C下使用非常小的冷卻器進(jìn)行測(cè)試，從而使系統(tǒng)極具成本效益，從而降低測(cè)試的總體成本。減少轉(zhuǎn)換時(shí)間，改善電氣性能，在惰性氣體環(huán)境下更容易測(cè)試，以及現(xiàn)場(chǎng)可升級(jí)性是PRIME?熱卡盤系統(tǒng)的附加值。熱系統(tǒng)可以使用完全集成的觸摸屏顯示器操作，放置在操作員面前的方便位置，以便快速操作和立即反饋。
ERS獲得專利的AC3冷卻技術(shù)公司這些卡盤采用獲得專利的AC3冷卻技術(shù)和自我管理系統(tǒng)，使用循環(huán)冷卻空氣清洗MPI ShielDEnvironment?，與市場(chǎng)上的其他系統(tǒng)相比，可大幅減少30％至50％的空氣消耗。
綜合測(cè)量?jī)x器硅光子儀器架包含定位控制硬件的所有必需組件，無(wú)縫集成，無(wú)需增加額外的占地面積。它位于用戶友好的距離，便于設(shè)置操作。

Probe Hover Control?

熱卡盤集成

綜合測(cè)量?jī)x器