深圳市易捷測試技術(shù)有限公司
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晶圓光學(xué)檢測設(shè)備
探針臺|全自動探針臺|硅光晶圓測試系統(tǒng)|半自動探針臺|手動探針臺|國產(chǎn)探針臺|Hanwa ESD/ TLP測試儀|CDM測試機(jī)|晶圓級ESD測試儀|芯片HCI/BTI/TDDB/DCEM可靠性測試設(shè)備、滿足實(shí)驗(yàn)室研發(fā)和晶圓廠量產(chǎn)的多種需求。廣泛應(yīng)用于：WAT/CP測試、I-V／C-V測試、RF/mmW測試、高壓/大電流測試、在片wlr、在片老化burning、高低溫測試、光電器件測試（硅光、CMOS，SPAD傳感器等）、晶圓級失效分析、芯片ESD測試、半導(dǎo)體工藝可靠性驗(yàn)證、封裝測試等領(lǐng)域
檢查大尺寸樣品–滿足自動化潔凈室的要求 |
從尺寸極小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓，甚至整個(gè)平板顯示器，檢測期間不會對樣品造成破壞。Axio Imager Vario支持的最大樣品高度為254 mm，最大橫向樣品空間為300 mm，大大拓展了可以測試的樣品范圍。機(jī)柱設(shè)計(jì)確保了良好的穩(wěn)定性?？蓾M足在潔凈室內(nèi)檢測晶圓的應(yīng)用要求。利用驅(qū)動Z軸的電動馬達(dá)與自動聚焦硬件確保自動調(diào)整至理想的聚焦位置。 |
高性能、高性價(jià)比 | 可靠的結(jié)果 | 數(shù)字集成 |
它具有優(yōu)異的可用性和先進(jìn)的自動化功能，是要求日常任務(wù)的理想選擇。相比起更先進(jìn)的光學(xué)顯微鏡，它兼顧強(qiáng)大的性能與經(jīng)濟(jì)的價(jià)格 。 | 使用帶編碼的組件和先進(jìn)的光學(xué)技術(shù)，Axioscope 提供可靠的，可再現(xiàn)的結(jié)果。此外，自動化的Axioscope7 能夠使您的工作流程完全自動化-所以它能很快成為實(shí)驗(yàn)室的得力助手。 | 靠著Axiocam系列相機(jī)和ZEN 2 core成像系統(tǒng)，Axioscope成為一個(gè)強(qiáng)大的數(shù)字文檔系統(tǒng)。從設(shè)備控制-到圖像采集、分析以及儲存您的分析數(shù)據(jù)，Axioscope提供了一個(gè)完全數(shù)字化的工作流程。 |
具有兩種手動機(jī)柱和一種電動機(jī)柱（配有符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的三個(gè)模式控制按鈕）可供選擇，充分利用顯微鏡的最大橫向樣品空間300 mm x 300 mm和最大樣品高度254 mm的優(yōu)勢。
Axio Imager Vario能通過物鏡轉(zhuǎn)盤的上下移動來聚焦樣品。這意味著即便是較重的樣品，依然可以獲得高聚焦精度和可重復(fù)性。
借助硬件自動對焦功能，可以精準(zhǔn)快速地聚焦低對比度的反射樣品。
將Axio Imager Vario與LSM 900結(jié)合使用，能夠以高分辨率無接觸地分析敏感樣品
Axio Imager Vario已通過DIN EN ISO 14644-1認(rèn)證，并滿足5級潔凈室的應(yīng)用要求。
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