深圳市易捷測試技術(shù)有限公司
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微光顯微成像系統(tǒng)
探針臺|全自動探針臺|硅光晶圓測試系統(tǒng)|半自動探針臺|手動探針臺|國產(chǎn)探針臺|Hanwa ESD/ TLP測試儀|CDM測試機(jī)|晶圓級ESD測試儀|芯片HCI/BTI/TDDB/DCEM可靠性測試設(shè)備、滿足實(shí)驗(yàn)室研發(fā)和晶圓廠量產(chǎn)的多種需求。廣泛應(yīng)用于:WAT/CP測試、I-V/C-V測試、RF/mmW測試、高壓/大電流測試、在片wlr、在片老化burning、高低溫測試、光電器件測試(硅光、CMOS,SPAD傳感器等)、晶圓級失效分析、芯片ESD測試、半導(dǎo)體工藝可靠性驗(yàn)證、封裝測試等領(lǐng)域
EMMI(Electron - Beam - Induced Current Microscopy)失效分析測試系統(tǒng)(主要用于半導(dǎo)體器件和集成電路的失效分析)。
失效分析微光顯微成像系統(tǒng)
產(chǎn)品簡介:
1,LUXET InGaAs 100 是一款微光顯微成像系統(tǒng),配備了全自動運(yùn)動系統(tǒng)、深度制冷型InGaAs相機(jī)、不同倍率的顯微鏡頭以及鎖相測量模式,可以適用于半導(dǎo)體器件的失效點(diǎn)定位。
2,Thermo100 是一款全國產(chǎn)化的鎖相紅外顯微成像系統(tǒng)。Thermo100配備了全自動運(yùn)動系統(tǒng)、高靈敏度制冷型中波紅外相機(jī)、廣角鏡頭與大倍率顯微鏡頭、高壓源表,可以適用于晶圓、電路板等多種不同種類器件的失效點(diǎn)定位
3,Phose-X是一種高分辨率發(fā)射顯微鏡,它通過檢測到半導(dǎo)體設(shè)備缺陷引起的弱光排放和熱排放來查明半導(dǎo)體設(shè)備中的故障位置。
由于Phose-X可與通用專家結(jié)合使用,因此您可以使用已經(jīng)熟悉的示例設(shè)置來執(zhí)行各種分析任務(wù)。安裝可選的激光掃描系統(tǒng)允許獲取高分辨率模式圖像。不同類型的檢測器可用于各種分析技術(shù),例如排放分析,熱分析和IR-Obirch分析。 Phemos-X支持從Prober插座板到大型300毫米晶圓廠的各種任務(wù)和應(yīng)用。